在溅射镀膜的过程中，起辉是至关重要的一步，它标志着镀膜工艺的正式开始。然而，有时会遭遇溅射镀膜无法起辉的难题，这给生产带来了极大的困扰。

磁性靶材不起辉现象的定义：

磁性靶材不起辉是指在磁控溅射过程中，靶材未能产生预期的辉光放电，导致溅射无法正常进行。辉光放电是溅射过程中电子碰撞气体分子产生的发光现象，是靶材表面原子被溅射离开的必要条件。

产生原因：

1.电源问题是常见的因素之一。如果电源出现故障，如电压不稳定、电流输出异常等，就无法为溅射过程提供足够的能量，从而导致无法起辉。

2.真空度不足也会阻碍起辉。良好的真空环境是溅射镀膜的基础，若真空系统存在泄漏或者真空泵工作不正常，使得真空度达不到要求，那么气体分子的碰撞会过于频繁，阻碍了等离子体的形成，进而无法起辉。

3.靶材问题也可能引发这一困境。靶材表面被污染、氧化或者存在缺陷，会影响其与气体分子的相互作用，导致难以起辉。

4.工艺参数设置不当同样不可忽视。例如，气体流量、压力、溅射功率等参数设置不合理，可能无法创造出适合起辉的条件。

5.磁场强度不够也是一个关键因素。在磁控溅射过程中，磁场起着约束电子、增强等离子体密度的重要作用。如果磁场强度不够，电子的运动轨迹无法得到有效控制，难以与工作气体充分碰撞产生足够的离子来轰击靶材，从而无法形成稳定的等离子体，导致无法起辉。

解决措施：

1.对于电源问题，应及时对电源设备进行检修和维护，确保其稳定输出合适的电压和电流。同时，配备备用电源，以防突发情况。

2.针对真空度不足的情况，要仔细检查真空系统，查找泄漏点并进行修复，定期维护真空泵，确保其正常运行，以达到所需的真空度。

3.对于靶材问题，在使用前要对靶材进行严格的检查和预处理，去除表面的污染和氧化层，确保靶材质量良好。

4.在工艺参数方面，需要通过不断的试验和优化，找到最适合的气体流量、压力和溅射功率等参数组合，为起辉创造良好的条件。

5.对于磁场强度不够的情况，可以检查磁控溅射装置的磁场源，如永磁体或电磁线圈，看是否存在老化、损坏或安装不当等问题。若永磁体老化，可考虑更换新的永磁体；若电磁线圈问题，检查线圈的电流和连接情况，确保其能产生足够的磁场强度。