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  • 硅电极
    硅电极 半导体刻蚀工艺的核心耗材之一，它由高纯度的单晶硅材料精心加工而成。单晶硅具有极其优异的物理和化学性质，为硅电极在复杂且严苛的半导体制造环境中稳定工作提供了坚实的基础。

  • 硅环
    硅环 在半导体集成电路制程的刻蚀设备里充当外电极。其主要功能是于刻蚀进程中为晶圆营造适宜的刻蚀环境氛围，同时硅环能够聚焦等离子体，将其能量集中导向晶圆表面，尤其对晶圆边缘刻蚀起到优化作用。

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