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硅舟
作为半导体制造过程中的重要承载工具,主要由高纯度的硅材料制成。因为高纯度的硅能够与半导体硅片完美适配,具有与硅片相近的物理性质,如热膨胀系数等。
硅异形件
硅异性件生产多依赖精密加工。用高纯单晶硅或多晶硅为原料,经精密加工。硬度高、耐磨、化学稳定、高温性能好,满足不同应用场景需求。
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