多晶硅旋转靶材
时间:2024-09-04 发布人:admin 点击数:0
生产工艺:首先采用铸造法生产多晶硅锭,这种方法能够保证多晶硅的基本质量和性能。接着对多晶硅锭进行开方处理,使其成为具有合适尺寸的块状,为后续加工奠定基础。之后,要精心掏内孔,内孔的精度对于靶材在旋转溅射设备中的安装和使用有着关键影响。最后通过磨外圆工艺,使外圆表面达到很高的光洁度和精确的尺寸,满足旋转溅射时对靶材圆柱度和表面质量的严格要求,同时保证在高速旋转过程中的稳定性,保障溅射过程的均匀性。
产品特点:它基于多晶结构,在旋转溅射时展现出优异的均匀性,能全方位地为基底提供均匀的粒子流。与其他类型靶材相比,材料利用率大幅提高,可充分利用靶材材料。而且在复杂的工作环境中,无论是高温还是多种气体氛围下,都有出色的稳定性,保证溅射工作的持续稳定进行。
应用领域:在电子工业里,可为电子元件制造沉积优质薄膜,保障电子元件性能。在显示屏制造领域,可用于沉积显示薄膜,有效提升显示质量和寿命。于太阳能光伏产业而言,能助力制备高质量光伏电池薄膜,提高光电转换效率。