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热喷涂旋转硅靶材
时间:2024-09-04    发布人:admin    点击数:0

热喷涂旋转硅靶材

  • 生产工艺:通过等离子热喷涂技术来制备。首先将硅粉作为原料,在高温等离子体环境下,硅粉被加热至熔融或半熔融状态。然后利用高速气流将这些熔融态的硅颗粒加速,使其喷射并沉积在衬管的表面,经过层层堆积,最终在衬管上形成均匀且具有一定厚度的硅层,从而制成旋转硅靶材。


  •  产品特点:具有较高的纯度,这使得在后续应用中能够保证良好的性能。结构致密,与衬管的结合强度高,在高速旋转使用过程中,硅层不易脱落。而且通过热喷涂工艺形成的硅层,其微观结构均匀,有利于材料性能的稳定发挥。


  •  应用领域:在半导体行业,它可用于芯片制造过程中的物理气相沉积等工艺,能够为芯片提供高质量的硅薄膜,对芯片的性能和稳定性有着至关重要的作用。在平板显示领域,有助于制造高质量的显示屏幕,提高显示效果和屏幕的耐用性。


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