一、外观质量

表面颜色应均匀，靶表面应平整，无裂纹，无崩边，气孔直径不大于0.5m，且无外来夹杂物和污染物。在照度800 1m的日光灯照条件下，通过目测和量具检验，量具精度优于0.02mm。

二、硅粉纯度

硅粉标称含量应大于等于99.95%，杂质含量符合以下标准。按YS/T 935的规定进行检测。

三、尺寸偏差

四、密度

涂层密度(p)应大于等于2.2 g/cm，且密度均匀性偏差应小于等于±2%。单根产品进行破坏性取样，取样位置分别为涂层两端和中间位置，取三组样品，每组重量在5g~10g，按GB/T1423的规定测试。密度均匀性偏差根据三组样品的测试密度数值计算，取三组样品密度数值的算术平均值作为密度平均值，每组样品密度数值未超出密度平均值的±2%，判定密度均匀性偏差合格。

五、电阻率

涂层电阻率应小于0.05 Ω•cm。

六、涂层有害物质指标