1.氢氟酸（HF）：被誉为硅料清洗中的“腐蚀大师”，氢氟酸以其强烈的腐蚀性而闻名。它能深入硅料表面，精准地去除难以处理的氧化层，确保硅料表面的纯净度。通常，氢氟酸会与硝酸巧妙搭配，两者联手，清洗效果更上一层楼。

2.硝酸（HNO3）：作为强酸中的“氧化高手”，硝酸的氧化能力不容小觑。它能将硅料表面的有机物和金属杂质一一氧化，为后续清洗步骤奠定坚实的基础。

3.盐酸（HCl）：同样作为强酸家族的一员，盐酸在去除硅料表面金属杂质方面表现出色。在实际操作中，它常常与其他酸类协同作战，共同打造完美的清洗效果。

4.甲酸（HCOOH）：虽然甲酸在常规硅料清洗中可能不是主角，但在特定情况下，如处理对清洗条件敏感的表面时，它却能发挥关键作用，为清洗过程增添一抹亮色。

5.苯酚（C6H5OH）：身为酚类的一员，苯酚的酸性虽然相对较弱，但其针对性去除硅料表面有机污染物的能力却不容忽视。在清洗过程中，它发挥着独特的功效。

6.氢氧化钠（NaOH）与氢氧化钾（KOH）：作为强碱的代表，它们与硅直接反应，迅速而有效地实现清洗目标。两者的性质相似，但各有千秋，为硅料清洗提供了更多选择。

7.有机溶剂：如乙醇、无水乙醇、二氯甲烷等，这些溶剂能迅速溶解硅料表面的油脂和各类有机物，为清洗过程提供有力支持。

8.络合剂：乙二胺四乙酸（EDTA）、柠檬酸（C6H8O7）等，能与金属离子形成稳定的络合物，轻松将金属杂质从硅料上洗脱并带走。这些络合物稳定存在，有效防止金属离子再沉积，保持清洗效果的持久性。

9.表面活性剂：如十二烷基苯磺酸钠等，它们擅长油污的乳化和分散，降低液体表面张力，改善界面性质，使油污轻松脱离硅料表面。

10.分散剂：聚丙烯酸（PPA）、聚乙二醇（PEG）、聚苯乙烯磺酸钠（PSS）等，能将固体颗粒均匀分散于液体中，防止颗粒团聚和沉淀，确保体系的均匀稳定。

11.纯水：在清洗过程中，纯水扮演着冲洗和稀释其他化学品的角色。它保证了清洗的洁净度，是硅料清洗过程中不可或缺的“绿叶”。