在半导体材料的赛道上,碳化硅(SiC)作为第三代宽禁带半导体材料的“明星选手”,正凭借自身卓越的性能,掀起一场席卷多个领域的技术变革。而8英...
为了控制半导体的性质,我们需要人为的掺入微量的Ⅲ族(如镓)或Ⅴ族(如磷)元素杂质。Ⅲ族在硅中能接受电子而产生导电空穴并形成正电中心,称他们为...
半导体电阻率可以用四探针直接测出,而杂质的量却很难探测到。在实际的研究和生产中通常通过电阻率来讨论杂质分布的问题。载流子浓度和迁移率决定了电...
在硅片的检测中使用的是四探针测试仪[72],图 2.5 为实验使用的苏州晶格四探针检测仪。电阻率测试中使用的仪器为四探针电阻率测试仪,检测原...
在流场中,我们可以清晰的看见在固液界面下方熔体中的环流,在晶体旋转低于6rpm 时,环流在固液界面下方。随着晶转的增加,环流从中心沿着三相点...
在近日举办的SEMICON China 2025(上海国际半导体展览会)上,深圳新凯来工业机器有限公司首次高调亮相,以6大类31款覆盖芯片制...
2025年6月,全球半导体行业的目光聚焦上海——作为亚洲规模最大、影响力最广的半导体行业盛会,SEMICON China 2025汇聚了全球...
1、不同氩气进口流量对磷杂质分布的影响过去的研究大多集中于氩气、炉压对氧含量的影响,极少提到氩气、炉压对磷杂质的分布的影响。为了改善单晶硅棒...
改良西门子CVD 法是在还原炉内通入高纯的三氯氢硅(TCS) 和氢气(H2),使其通过化学气相沉积反应将多晶硅沉积在热载体上( 即硅芯),但...