一般认为氧的扩散在700℃可以分为两部分:当 T>700℃时，氧主要通过间隙扩散，这一点基本上被大家所认可。当 400℃为了解释氧的异常扩散...

在直拉单晶硅的生长过程中，由于熔硅与石英坩埚在高温下的相互作用，氧原子不可避免地进入硅熔体。尽管大部分生成的 SiO 以气体形式挥发，但仍有...

目前，在太赫兹（远红外）频段最透明的绝缘材料就是高阻的浮区（FZ）单晶硅。这是科研人员不断的经过实验并分析得出的结果。实验的测量分为两部分，...

硅粉直接氮化法作为合成氮化硅粉末的传统方法，因生产工艺简单、适合工业化生产等优势，在氮化硅制备领域占据重要地位。以下是基于相关研究总结的硅粉...

多晶硅作为半导体材料被广泛应用。生产多晶硅的生产工艺主要有：西门子法、硅烷法、冶金法、锌还原法、改良西门子法、碳热还原法等。改良西门子法因其...

在光伏与半导体产业快速发展的背景下，多晶硅作为关键基础材料，其品质对下游器件性能具有决定性影响。碳作为多晶硅中的主要杂质，不仅会降低硅器件的...

改良西门子法生产多晶硅工艺中多晶硅产品是三氯氢硅与氢气在还原炉内还原而来，在还原炉中反应生成的颗粒硅沉积在硅，芯上，生成棒状多晶硅。但在还原...

硅烷流化床主要是硅烷和氢气的混合气通过反应器底部进入流化床。在反应器顶部加入平均粒径约为 0.2～0.6 mm 的细小硅颗粒作为籽晶，在反应...

一、晶列晶体晶格中的原子被看作是处在一系列方向相同的平行直线系上，这种直线系称为晶列。同一晶体中存在许多取向不同的晶列，在不同取向的晶列上原...