众所周知几乎所有的硅单晶都用CZ法或FZ法生产。CZ 硅中的高氧含量(>10^18atm/cm3)所形成的氧施主,由于其不稳定性和可逆性造成...
N型高阻硅单晶(电阻率 > 10⁴ Ω・cm)因具有低杂质浓度、高少子寿命和优异的电学稳定性,成为粒子探测器、高频 MEMS 器件及高端半导...
多晶硅的热膨胀系数随温度升高呈现非线性变化。常温至300℃范围内,热膨胀系数增长平缓,数值保持在2.6×10^-6/℃至3.0×10^-6/...
禁带宽度(Band Gap)禁带宽度是半导体材料中价带顶到导带底之间的能量差(Eg),决定了电子从价带跃迁到导带所需的最小能量。它是半导体导...
在集成电路制程工艺中,半导体硅部件作为关键零部件,其制造质量至关重要。目前,硅部件主要通过机械铣削加工,然而这种方式会在硅表面形成亚表面损伤...
SOI(绝缘体上硅)硅片以其独特的 "顶层硅 - 埋氧层 - 基底硅" 三明治结构,彻底改变了传统体硅的性能瓶颈。顶层硅(几十纳米至几微米)...
单晶硅的晶向由其原子排列的周期性和对称性决定,不同晶向在原子密度、物理性质、加工工艺及应用场景中存在显著差异。以下从多个维度解析常见晶向 (...
P型半导体的“P”表示正电的意思,取自英文Positive的第一个字母。N型半导体的“N”表示负电的意思,取自英文Negative的第一个字...