单晶硅的晶向由其原子排列的周期性和对称性决定，不同晶向在原子密度、物理性质、加工工艺及应用场景中存在显著差异。以下从多个维度解析常见晶向 (...

P型半导体的“P”表示正电的意思，取自英文Positive的第一个字母。N型半导体的“N”表示负电的意思，取自英文Negative的第一个字...

同样是N型半导体，单晶硅中砷掺杂和磷掺杂有什么区别？在单晶硅中，砷（As）和磷（P）均为常用的 N 型掺杂剂（五价元素，提供自由电子），但由...

硅的沉积方式包括物理气相沉积和化学气相沉积，但在半导体和MEMS实际工艺流程中，几乎采用的都是化学气相沉积法。单晶硅薄膜主要通过MOCVD（...

在半导体领域，尤其是硅材料相关的研究与应用中，电阻率和方阻是两个频繁出现的概念。不少人会疑惑，它们是一个意思吗？答案是否定的，尽管二者都用于...

在半导体硅片生产过程中，精确调控材料的电阻率是实现器件功能的关键，而原位掺杂、扩散和离子注入正是达成这一目标的核心技术手段。下面将从专业视角...

氮在硅中主要以氮对的形式存在，并占据晶格的间隙位，另外有少于1%的氮占据晶格的替代位。不同的热历史对硅中氮的存在形式也有很大的影响根据热历史...

人们对硅中的氮氧复合体做了大量的研究，并且找到了氮氧复合体在中红外和远红外区的特征吸收峰，如下表所示。同时研究了它的热稳定性和对硅片电学性能...