在光伏与半导体产业快速发展的背景下，多晶硅作为关键基础材料，其品质对下游器件性能具有决定性影响。碳作为多晶硅中的主要杂质，不仅会降低硅器件的...

改良西门子法生产多晶硅工艺中多晶硅产品是三氯氢硅与氢气在还原炉内还原而来，在还原炉中反应生成的颗粒硅沉积在硅，芯上，生成棒状多晶硅。但在还原...

硅烷流化床主要是硅烷和氢气的混合气通过反应器底部进入流化床。在反应器顶部加入平均粒径约为 0.2～0.6 mm 的细小硅颗粒作为籽晶，在反应...

一、晶列晶体晶格中的原子被看作是处在一系列方向相同的平行直线系上，这种直线系称为晶列。同一晶体中存在许多取向不同的晶列，在不同取向的晶列上原...

硅粉加工是将大的硅块加工成粒径较小的粉料，硅粉粒径越小，越易悬浮，表面积越大，燃烧速度越快，升压越快，爆炸压力越大。由于粉尘的初始爆炸气浪会...

众所周知,单晶硅在碱性溶液中的湿法刻蚀沿不同晶向会表现出不同的刻蚀速率,即各向异性刻蚀。其本质原因是 (100)、 (110)、 (111)...

一块硅材料的性能优劣，其电阻率是至关重要的指标。如何精准测量这块看似简单的“石头”的导电能力？答案就是被誉为半导体工业“黄金标准”的测量方法...

在晶圆的蚀刻工艺中, 掩蔽图案和晶向的对准至关重要, 但是到底掩蔽图案和晶向的对准程度如何，这一结论只能通过最终的加工结果来判定。因此，如果...

单晶硅中的缺陷可分为点缺陷(零维缺陷)、线缺陷(一维缺陷)、面缺陷(二维缺陷)、体缺陷(三维缺陷)以及在加工过程中形成的二次缺陷。 其中,空...